새로운 신화를 만드는 기술력의 선두주자

고송이엔지 - 새로운 신화를 만드는 기술력의 선두주자
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고송이엔지 - 제품소개 - 노광기
Home 제품소개 노광기
 
 
노광기 4. RTR Exposure
▪ Exposure Area : 500mm x 500mm
▪ Thickness : 0.25~0.2T
▪ Light Source : 5Kw 평행광 UV LAMP x 2개
▪ Intensity : 35mW/㎠ 이상
▪ Uniformity : 90%
▪ Expo. Method : 양면동시노광
 

1. 高생산성 :  화성처리 및 기판반송 시간을 단축, 高생산성을 달성 하였습니다.


2. Feeding Unit : 소재 이송을 위한 Roll Feeding Unit를 적용하였습니다.


3. Tension Control : 소재의 Tension Stress를 최소화를 위한 기능을 장착하였습니다.


4. Tension Data정량화 : Load Cell기능을 장착하여 Tension관리를 용이하게 하였습니다.


5. 高정도 Alignment  : 4 CCD 카메라를 장착, ±10um의 고정도 Alignment를 실현하고 있습니다.


6. 제품의 Curl 대응 : 소재의 진공도 향상을 위한 소재Curl대응기능을 장착 하였습니다.


7. Particle 관리 : 장비의 내부기류를 분석, 최적의 Down Flow설계를 구축하였습니다.


8. Down Flow설계 : 장비내부 기류를 분석,이물대응시스템을 구축하였습니다.


 
 
 
 
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