새로운 신화를 만드는 기술력의 선두주자

고송이엔지 - 새로운 신화를 만드는 기술력의 선두주자
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고송이엔지 - 제품소개 - 노광기
Home 제품소개 노광기
 
 
Direct Imag노광기 (Maskless Exposure)
▪ Exposure Area : 700mm x 1200mm (협의 조정가능)
▪ Thickness : 0.25~0.2T
▪ Light Source : UV LED 광원 (고해상도에는 레이저광원 적용)
▪ UV LED광원 : 복합파장 적용으로 DF & PSR 적용 가능
▪ Head해상도 : 2.5um/4um/6um/15um/30um 모델개발완료
▪ Head수량 : 2EA ~ 6EA 확장가능
▪ Intensity : 4,000mW/㎠ 이상
▪ Uniformity : 90%

 
1. 高생산성 :  자동로딩/언로딩 장치를 결합하여 자동화 적용 가능토록 설계하였습니다.
2. 1080X1920 DMD 채용으로 고해상도 실현하였습니다.
3. 다양한 HEAD모델 구축으로 고객 Needs에 최적의 해상도 모델을 구축할 수 있습니다.
4. 고해상도(10um이상)를 요구하는 제품에는 레이저광원을 적용/품질을 향상 하였습니다.
5. 高정도 Alignment  : 4 CCD 카메라를 장착, ±10um의 고정도 Alignment를 실현하고 있습니다.
6. 제품의 Curl 대응 : 스테이지 흡착기능 및 특허기술을 활용하여 소재Curl대응력을 향상하였습니다.
7. Particle 관리 : 장비의 내부기류를 분석, 최적의 Down Flow설계 적용하였습니다.
8. 이더넷기술을 활용한 원격기술 적용으로 실시간 A/S 대응이 가능토록 하였습니다.

 
 
 
 
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