1. 高생산성 : 화성처리 및 기판반송 시간을 단축, 高생산성을 달성 하였습니다.

2. 노광스테이지 냉각 : SR재질의 Sticky 대응위한 냉각시스템을 장착하였습니다.

3. 노광GAS 관리 : 장시간 노광에 의한 GAS발생 대응방안을 강구 하였습니다.

4. 高정도 Alignment :  4 CCD 카메라를 채용,  ±10um의 고정도 Alignment를 실현하고 있습니다.

5. 진공시간 단축 :  U-Vaccum 적용으로 Tact Time을 단축하였습니다.

6. Particle 관리 :  클린 설계시스템 적용으로, 이물관리 대응력을 향상하였습니다.