1. LED광원 : 대면적SIZE 적용가능하며, SCAN Type 장착하였습니다
2. 광원조도 조정 : 현장 조도조정이 가능하도록, 구조설계를 적용하였습니다.
3. 高생산성 : 화성처리 및 기판반송 시간을 단축, 高생산성을 달성 하였습니다.
4. 高정도 Alignment : 4 CCD 카메라를 채용, ±10um의 고정도 Alignment를 실현하고 있습니다.
5. 진공시간 단축 : U-Vaccum 적용으로 Tact Time을 단축하였습니다.
6. Particle 관리 : 클린 설계시스템 적용으로, 이물관리 대응력을 향상하였습니다.