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Air Bearing stage
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3. Single Plane Type
Product Type : Air Bearing Guide
Material : Granite Base
Drive : Coreless Linear Servo Motor
Shock Absorbing Desk : Active Isolator
Stage Size : Ø300mm Sic Wafer Vacuum Chuck
Stroke (mm/full stroke) :
Y1/Y2 → 400 , X1 → 350
Flatness : ±1µm
Resolution : 0.5 nm/count
 
Single Plane Type Air Bearing Stage

 
 
 
 
 
3. Single Plane Type | Air Bearing stage | 상품소개 | 고송이엔지 | 노광기·라미네이터·검사기·UV LED·OMM장비 제작 & 뉴로메카 로봇 대리점 고송이엔지 | 주소 : 경기도 화성시 동탄면 동탄산단6길 53-27(구:동탄면 방교리 740-183) | 사업자등록번호 : 125-86-04177 | 대표자 : 이홍재 | 전화번호 : 031-377-9635 | 팩스번호 : 031-378-8822
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